产 品 价 格: 23000.00元/
联 系 方 式: 李瑞雪(先生) 68-021-60530041
环境温度 | 5°C 至 50°C |
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控制范围 | 根据型号选择 |
类型 | 气体压力控制器 |
品牌 | HORIBA |
型号 | UR-Z12 |
HORIBA UR-Z12自动压力调节器
UR-Z712 UR-Z722 UR-Z732
数字式 / 模拟式通讯模式
数字式自动压力调节器
UR-Z702 系列 数字式 / 模拟式通讯模式
UR-Z704 系列 DeviceNet? 现场总线通讯模式
应用;
① 应用于智能系统的发展
被一个大型机组所分隔开,比如金属有机气相 沉积(MOCVD)或者液晶溅射化学气相沉积,同时又被质量 流量控制器所控制时,该管路气体流量值的突然改变**会 影响到其他管路。然而,即便在上述情形下,UR 系列的产 品仍可以快速、调整管道中的气体压力,实现稳定 控制,并且保证多个质量流量控制器之间互不干扰。
② 应用于液体气化系统的发展
为 MOCVD (或者High-k CVD) 和其他制程中,可以控制稳 定的源端压力。(主要应用于大气压条件下)
规格
尺寸
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